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論文・著書情報


タイトル
和文:ナノパルスプラズマの状態評価及びDLC膜合成への応用 
英文: 
著者
和文: 齋藤隆雄, 近藤好正, 寺澤達矢, 齊藤雅典, 大竹尚登.  
英文: Takao Saito, Yoshimasa Kondo, Tatsuya Terasawa, Masanori Saito, NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電気学会論文集A 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 126        pp. 157-162
出版年月 2006年 
出版者
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会議名称
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開催地
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