ナノパルスプラズマの状態評価及びDLC膜合成への応用 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノパルスプラズマの状態評価及びDLC膜合成への応用
英文:

著者

和文:	齋藤隆雄, 近藤好正, 寺澤達矢, 齊藤雅典, 大竹尚登.
英文:	Takao Saito, Yoshimasa Kondo, Tatsuya Terasawa, Masanori Saito, NAOTO OHTAKE.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会論文集A
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 126 pp. 157-162

出版年月

2006年

出版者

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会議名称

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開催地

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