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論文・著書情報


タイトル
和文:ナノパルスプラズマCVD法を利用した大気開放下でのダイヤモンド状炭素膜合成 
英文: 
著者
和文: 近藤好正, 齋藤隆雄, 齊藤雅典, 寺澤達矢, 大竹尚登.  
英文: Yoshimasa Kondo, Takao Saito, Masanori Saito, Tatsuya Terasawa, NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会誌 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 72        pp. 1237-1241
出版年月 2006年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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