ナノパルスプラズマCVD法を利用した大気開放下でのダイヤモンド状炭素膜合成 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノパルスプラズマCVD法を利用した大気開放下でのダイヤモンド状炭素膜合成
英文:

著者

和文:	近藤好正, 齋藤隆雄, 齊藤雅典, 寺澤達矢, 大竹尚登.
英文:	Yoshimasa Kondo, Takao Saito, Masanori Saito, Tatsuya Terasawa, NAOTO OHTAKE.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 72 pp. 1237-1241

出版年月

2006年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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