Tribological Characteristics of Ultra-Thin DLC Films Prepared by Filtered Cathodic Vacuum Arc

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Tribological Characteristics of Ultra-Thin DLC Films Prepared by Filtered Cathodic Vacuum Arc

著者

和文:	安井啓人, H. Inaba, 笠原延修, 村上碩哉, 大竹尚登.
英文:	N. Yasui, H. Inaba, N. Kasahara, H. Murakami, N. Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Transactions of Materials Research Society of Japan

巻, 号, ページ

Vol. 32 pp. 523-526

出版年月

2006年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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