Deposition of TI-DLC Films by Arc-Glow Hybrid Plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of TI-DLC Films by Arc-Glow Hybrid Plasma CVD

著者

和文:	安原鋭幸, N. Taniguchi, H. Momose, 大竹尚登, J. V. R. Heberlein.
英文:	T. Yasuhara, N. Taniguchi, H. Momose, N. Ohtake, J. V. R. Heberlein.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 208

出版年月

2007年

出版者

和文:
英文:	Abstract of Int. Conf. New Diamond and Nano Carbons

会議名称

和文:
英文:	Int. Conf. New Diamond and Nano Carbons

開催地

和文:
英文: