Preparation of DLC films at atmospheric pressure by nanopulse plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of DLC films at atmospheric pressure by nanopulse plasma CVD

著者

和文:	大竹尚登, 近藤好正, T. Saito, 齊藤雅典, T. Terazawa.
英文:	N. Ohtake, 近藤好正, T. Saito, M. Saito, T. Terazawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 18th Int. Symp. Plasma Chemistry

巻, 号, ページ

CD-ROM 28B-p5

出版年月

2007年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: