Tribological Properties of Amorphous Boron Nitride Films Prepared by Nanopulse Plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Tribological Properties of Amorphous Boron Nitride Films Prepared by Nanopulse Plasma CVD

著者

和文:	齊藤雅典, 安原鋭幸, 村上碩哉, 大竹尚登.
英文:	Masanori Saito, Toshiyuki Yasuhara, Hiroya Murakami, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 3rd Int. Conf. Materials and Processing

巻, 号, ページ

Vol. 1 MSEC/ICM&P 72550-1~72550-7

出版年月

2008年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: