Effect of High-Voltage Positive Nano-Pulse Assist on the Hot-Filament CVD Diamond Growth

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of High-Voltage Positive Nano-Pulse Assist on the Hot-Filament CVD Diamond Growth

著者

和文:	望月佳彦, 齊藤雅典, T. Aida, 村上碩哉, 大竹尚登.
英文:	Y. Mochiduki, M. Saito, T. Aida, H. Murakami, N. Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of Int. Conf. IUMRS-ICA2008

巻, 号, ページ

FFP-7-1~FFP-7-1

出版年月

2008年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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