Preparation of Amorphous Carbon Films by Pulse Plasma CVD and Evaluation of its Gas Barrier Properties

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Amorphous Carbon Films by Pulse Plasma CVD and Evaluation of its Gas Barrier Properties

著者

和文:	鈴木勝基, 大曽根祐樹, H. Nishi, 齊藤雅典, 村上碩哉, 大竹尚登.
英文:	M. Suzuki, Yuki Osone, H. Nishi, M. Saito, H. Murakami, N. Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of Int. Conf. IUMRS-ICA2008

巻, 号, ページ

FFP-12-1~FFP-12-1

出版年月

2008年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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