Rapid Growth of Diamond-Like Carbon Films by Nanopulse Magnetron Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Rapid Growth of Diamond-Like Carbon Films by Nanopulse Magnetron Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	齊藤雅典, Takao Saito, Yoshimasa Kondo, 村上碩哉, 大竹尚登.
英文:	Masanori Saito, Takao Saito, Yoshimasa Kondo, Hiroya Murakami, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Asian Symposium on Materials and Processing

巻, 号, ページ

出版年月

2006年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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