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論文・著書情報


タイトル
和文:透明膜で覆われた物体のワンショット干渉計測法：局所モデル適合法による膜厚と表面形状の同時測定 
英文: 
著者
和文: 杉山将, 北川克一, 鈴木一嘉, 内藤 卓人, 小川 英光.  
英文: Masashi Sugiyama, 北川克一, 鈴木一嘉, Takuto Naito, HIDEMITSU OGAWA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. C33    pp. 183-184
出版年月 2008年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2008年度精密工学会秋季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:仙台 
英文: 

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