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論文・著書情報


タイトル
和文:ナノパルスプラズマCVD法によるBN系薄膜の合成 
英文: 
著者
和文: 齊藤雅典, 齊藤隆雄, 近藤好正, 村上碩哉, 大竹尚登.  
英文: Masanori Saito, 齊藤隆雄, 近藤好正, Hiroya MURAKAMI, NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         227-228
出版年月 2007年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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