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論文・著書情報


タイトル
和文:低温プラズマ発生装置用薄型MOSFETモジュールを用いた2MHz6kVA電圧形インバータ 
英文: 
著者
和文: 藤田英明, 赤木泰文, 篠原信一.  
英文: Hideaki Fujita, Hirofumi Akagi, 篠原信一.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電気学会 半導体電力変換研究会資料 
英文: 
巻, 号, ページ     No. SPC-00-92   
出版年月 2000年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:電気学会 半導体電力変換研究会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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