Single-shot interferometry of film-covered objects.

論文・著書情報

タイトル

和文:	透明膜で覆われた物体のワンショット干渉計測法
英文:	Single-shot interferometry of film-covered objects.

著者

和文:	内藤卓人, 杉山将, 小川英光, 北川克一, 鈴木一嘉.
英文:	Naito, T., Sugiyama, M., Ogawa, H., Kitagawa, K., Suzuki, K..

言語

English

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society Precision Engineering

巻, 号, ページ

vol. 75 no. 11 pp. 1315-1322

出版年月

2009年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI