Deposition of Diamond-Like-Carbon Films using Transient Glow Microdischarges Powered  by Fast Pulse-Train Voltages at Atmospheric Pressure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of Diamond-Like-Carbon Films using Transient Glow Microdischarges Powered by Fast Pulse-Train Voltages at Atmospheric Pressure

著者

和文:	井深真治, 菊地淳, 五十嵐晃一, 吉田直晃, 石井彰三.
英文:	SHINJI IBUKA, JUN KIKUCHI, KOICHI IGARASHI, NAOAKI YOSHIDA, SHOZO ISHII.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Fundamentals and applications of microplasmas

巻, 号, ページ

Page P2-16

出版年月

2009年3月

出版者

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英文:

会議名称

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開催地

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