Deposition of Diamond-like-carbon Film by Atmospheric Transient Glow Microdischarge Using Fast High-voltage Pulse Train Generator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of Diamond-like-carbon Film by Atmospheric Transient Glow Microdischarge Using Fast High-voltage Pulse Train Generator

著者

和文:	S. Ibuka, K. Harada, J. Kikuchi, K. Igarashi, S. Ishii.
英文:	SHINJI IBUKA, Koichi Harada, Jun Kikuchi, Koichi Igarashi, SHOZO ISHII.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Research Report NIFS-PROC Series

巻, 号, ページ

Vol. NIFS-PROC-79 pp. 66-71

出版年月

2009年3月

出版者

和文:
英文:	National Institute for Fusion Science

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: