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論文・著書情報


タイトル
和文:As注入とSiN応力膜によるpoly-Siへの歪記憶の検討 
英文: 
著者
和文: 中山寛人, 日野雅文, 永田晃基, 小瀬村大亮, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 小椋厚志, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Hiroto Nakayama, Masafumi Hino, Akimoto Nagata, 小瀬村大亮, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, Atsushi Ogura, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第56回応用物理学関係連合講演会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 2    pp. 869
出版年月 2009年3月 
出版者
和文:応用物理学会 
英文: 
会議名称
和文:第56回応用物理学関係連合講演会 
英文: 
開催地
和文:筑波大学 
英文: 

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