On-chip high-Q spiral Cu inductors embedded in wafer-level chip-scale package for silicon RF application

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	On-chip high-Q spiral Cu inductors embedded in wafer-level chip-scale package for silicon RF application

著者

和文:	Kazuhisa Itoi, Masakazu Sato, Hiroshi Abe, 菅原弘雄, 伊藤浩之, 岡田健一, 益一哉, Tatsuya Ito.
英文:	Kazuhisa Itoi, Masakazu Sato, Hiroshi Abe, Hirotaka Sugawara, Hiroyuki Ito, Kenichi Okada, Kazuya Masu, Tatsuya Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE MTT-S International Microwave Symposium

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 197-200

出版年月

2004年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE MTT-S International Microwave Symposium

開催地

和文:
英文:	Texas, USA