Si基板上に製膜した(001)エピタキシャルYSZ薄膜の残留応力の測定と制御

論文・著書情報

タイトル

和文:	Si基板上に製膜した(001)エピタキシャルYSZ薄膜の残留応力の測定と制御
英文:

著者

和文:	村上晃浩, 脇谷尚樹, 吉岡朋彦, 田中順三, 篠崎和夫.
英文:	Akihiro Murakami, Naoki Wakiya, Tomohiko Yoshioka, Junzo Tanaka, KAZUO SHINOZAKI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会 2009年年会講演予稿集
英文:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2009

巻, 号, ページ

No. 3C17 pp. 266

出版年月

2009年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本セラミックス協会 2009年年会
英文:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2009

開催地

和文:	東京理科大学（野田キャンパス）
英文: