Fabrication and Microstructure of Epitaxial LiTaO<sub>3</sub> Thin Films on Sapphire Substrates by Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication and Microstructure of Epitaxial LiTaO₃ Thin Films on Sapphire Substrates by Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	大野翼, H. Zhanbing, 櫻井修, N. Setter, 篠崎和夫.
英文:	Tsubasa Oono, H. Zhanbing, O. Sakurai, N. Setter, K. Shinozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 3rd International Conference on Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC3).

巻, 号, ページ

No. 16pP042

出版年月

2009年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 3rd International Conference on Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC3).

開催地

和文:
英文:	Yokohama, Kanagawa, Japan