Siメンブレン構造上に作成したPNZTキャパシタの強誘電性に及ぼす応力の影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	Siメンブレン構造上に作成したPNZTキャパシタの強誘電性に及ぼす応力の影響
英文:	Si substrate induced stress impact on ferroelectricity of PNZT capacitors and suspended membranes

著者

和文:	クロスJ.S., エバンズ J.T., モンツロス C., サラザＧ., 斎藤啓介, 森岡仁, 篠崎和夫, 吉岡朋彦, 田中順三.
英文:	J.S. Cross, J.T. Evans, C. Montross, G. Salazar, Saito Keisuke, Morioka Hitoshi, Shinozaki Kazuo, Yoshioka Tomohiko, Tanaka Junzo.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第56 回春季応用物理学会関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

No. 31a-ZH-2

出版年月

2009年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第56 回春季応用物理学会関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	筑波大学(つくば), 茨城
英文: