Study of air-suspended RF MEMS inductorconfigurations for realizing large inductancevariations

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Study of air-suspended RF MEMS inductorconfigurations for realizing large inductancevariations

著者

和文:	水落裕, 天川修平, 石原昇, 益一哉.
英文:	Yutaka Mizuochi, Shuhei Amakawa, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the Argentine School of Micro-Nanoelectronics, Technology and Applications 2009

巻, 号, ページ

pp. 50-55

出版年月

2009年10月

出版者

和文:	IEEE
英文:	Argentine School of Micro-Nanoelectronics, Technology and Applications 2009

会議名称

和文:
英文:	Argentine School of Micro-Nanoelectronics, Technology and Applications 2009

開催地

和文:
英文:	Bariloche, Argentina

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