MEMS inductor configurations with shields for achieving large inductance variations

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	MEMS inductor configurations with shields for achieving large inductance variations

著者

和文:	水落裕, 天川修平, 石原昇, 益一哉.
英文:	Yutaka Mizuochi, Shuhei Amakawa, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Advanced Metallization Conference 2009

巻, 号, ページ

pp. 59-60

出版年月

2009年10月

出版者

和文:
英文:	Advanced Metallization Conference

会議名称

和文:
英文:	Advanced Metallization Conference 2009

開催地

和文:
英文:	Baltimore, Maryland, USA