RF CMOS 集積回路と MEMS 回路の融合

論文・著書情報

タイトル

和文:	RF CMOS 集積回路と MEMS 回路の融合
英文:	Integration of RF CMOS and MEMS

著者

和文:	石原昇, 水落裕, 天川修平, 益一哉.
英文:	Noboru Ishihara, Yutaka Mizuochi, Shuhei Amakawa, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会センサ・マイクロマシン部門主催第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集(2009年、東京)
英文:

巻, 号, ページ

C2-2

出版年月

2009年10月

出版者

和文:
英文:	電気学会

会議名称

和文:
英文:	電気学会センサ・マイクロマシン部門主催第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集(2009年、東京)

開催地

和文:
英文:	東京, 日本