Ligand Structure Effect on A Divalent Ruthenium Precursor for MOCVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ligand Structure Effect on A Divalent Ruthenium Precursor for MOCVD

著者

和文:	河野和久, Hiroaki Kosuge, Noriaki Oshima, Tadashi Arii, Yutaka Sawada, 舟窪浩.
英文:	Kazuhisa Kawano, Hiroaki Kosuge, Noriaki Oshima, Tadashi Arii, Yutaka Sawada, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

巻, 号, ページ

Vol. 1155 pp. 1155-C09-11

出版年月

2009年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI