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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Large Deflection Spiral Shaped Micromirror Actuator 
著者
和文: ｻﾀﾞﾄｾｲﾄﾞ ﾎｾｲﾝ, 神谷大揮, 堀江三喜男.  
英文: Seid Hossein Sadat, DAIKI KAMIYA, MIKIO HORIE.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Microelectromechanical Systems 
巻, 号, ページ Vol. 18    No. 6    pp. 1357-1364
出版年月 2009年12月 
出版者
和文: 
英文:IEEE/ASME 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1109/JMEMS.2009.2031700

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