【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Large Deflection Spiral Shaped Micromirror Actuator
著者
和文:
サダトセイド ホセイン
,
神谷大揮
,
堀江三喜男
.
英文:
Seid Hossein Sadat
,
DAIKI KAMIYA
,
MIKIO HORIE
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Journal of Microelectromechanical Systems
巻, 号, ページ
Vol. 18 No. 6 pp. 1357-1364
出版年月
2009年12月
出版者
和文:
英文:
IEEE/ASME
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
DOI
https://doi.org/10.1109/JMEMS.2009.2031700
©2007
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