High Quality Aluminum Oxide Passivation Layer for Crystalline Silicon Solar Cells Deposited by Parallel-Plate Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High Quality Aluminum Oxide Passivation Layer for Crystalline Silicon Solar Cells Deposited by Parallel-Plate Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	宮島晋介, 入川淳平, 山田明, 小長井誠.
英文:	Shinsuke Miyajima, Junpei Irikawa, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics Express

巻, 号, ページ

Vol. 3 pp. 012301

出版年月

2009年12月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI