アルカリ土類金属弗化物を用いた化合物半導体SOI構造のヘテロエピタキシーに関する研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	アルカリ土類金属弗化物を用いた化合物半導体SOI構造のヘテロエピタキシーに関する研究
英文:

著者

和文:	筒井一生.
英文:	KAZUO TSUTSUI.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:

言語

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

学位授与日

1986/--/--

審査員