強誘電体を用いたマイクロプラズマの発生と応用に関する研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	強誘電体を用いたマイクロプラズマの発生と応用に関する研究
英文:

著者

和文:	三宅賢稔.
英文:	Masatoshi Miyake.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:

言語

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

学位授与日

2001/--/--

審査員