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論文・著書情報


タイトル
和文:半導体基板上への常誘電性および強誘電性弗化物薄膜の形成とデバイス応用に関する研究 
英文: 
著者
和文: 會澤康治.  
英文: KOJI AIZAWA.  
種別
種別:学位論文(博士) 
国名:日本 
言語 Japanese 
学位授与組織 東京工業大学 
報告番号 乙第2963号 
学位授与日 1996/10/30 
審査員 石原宏.  
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