Surface Modification of Thin Dielectric Materials by Compact Theta-Pinch Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface Modification of Thin Dielectric Materials by Compact Theta-Pinch Plasma

著者

和文:	竹内希, 安岡康一, 石井彰三.
英文:	Nozomi Takeuchi, Koichi Yasuoka, Shozo Ishii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2005 IEEE International Conference of Plasma Science

巻, 号, ページ

1P73

出版年月

2005年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2005 IEEE International Conference of Plasma Science

開催地

和文:
英文:	Monterey, California