SOI基板上多層a-Si細線導波路の伝搬特性の評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	SOI基板上多層a-Si細線導波路の伝搬特性の評価
英文:	Evaluation of a-Si waveguides characteristics on SOI wafer with multiple layers

著者

和文:	井上敬太, 渥美裕樹, 西山伸彦, 田村茂雄, 荒井滋久.
英文:	Keita Inoue, Yuki Atsumi, Nobuhiko Nishiyama, Shigeo Tamura, Shigehisa Arai.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第57回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 神奈川 No. 17p-P3-7

出版年月

2010年3月

出版者

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会議名称

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開催地

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