Effect of incubation time on deposition behavior of Ruthenium films by MOCVD using (2,4-Dimethy lpentadienyl) (ethylcyclopentadienyl) Ruthenium

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of incubation time on deposition behavior of Ruthenium films by MOCVD using (2,4-Dimethy lpentadienyl) (ethylcyclopentadienyl) Ruthenium

著者

和文:	平野雅輝, 河野和久, 舟窪浩.
英文:	Masaki Hirano, Kazuhisa Kawano, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Key Engineering Materials

巻, 号, ページ

Vol. 421-422 pp. 87-90

出版年月

2010年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI