微細シリコンデバイスに要求される各種高性能薄膜 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細シリコンデバイスに要求される各種高性能薄膜
英文:

著者

和文:	岩井洋, 大見俊一郎.
英文:	HIROSHI IWAI, Shun-ichiro OHMI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	応用物理
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 69 No. 1 pp. 4-14

出版年月

2000年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

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英文:

DOI

https://doi.org/10.11470/oubutsu1932.69.4

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