Driving mechanism and experimental realization of a cylindrical ultrasonic linear microactuator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Driving mechanism and experimental realization of a cylindrical ultrasonic linear microactuator

著者

和文:	SUNDONGMING, 汪盛, 秦誠一, 櫻井淳平, 下河邉明.
英文:	Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 86 No. 4-6 pp. 1262-1266

出版年月

2009年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI