熱ナノインプリントを用いた高屈折率差サブ波長回折格子製作の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	熱ナノインプリントを用いた高屈折率差サブ波長回折格子製作の検討
英文:	Fabrication of High Contrast Grating with Thermal Nanoimprint Process

著者

和文:	橋爪佑樹, 松谷晃宏, 小山二三夫.
英文:	Yuuki Hashidume, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第57回応用物理学関係連合講演会
英文:	The 57th Spring Meeting of Japan Society of Applied Physics and Related Societies

巻, 号, ページ

18p-P6-21

出版年月

2010年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:	神奈川
英文:	Kanagawa