Radio Frequency Micro Electro Mechanical Systems Inductor Configurations for A Achieving Large Inductance Variations and High Q-factors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Radio Frequency Micro Electro Mechanical Systems Inductor Configurations for A Achieving Large Inductance Variations and High Q-factors

著者

和文:	水落裕, 天川修平, 石原昇, 益一哉.
英文:	Yutaka Mizuochi, Shuhei Amakawa, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japan Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

vol. 49 pp. 05FG02-1 - 05FG02-3

出版年月

2010年5月

出版者

和文:
英文:	Japan Journal of Applied Physics

会議名称

和文:
英文:	Japan Journal of Applied Physics

開催地

和文:
英文: