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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Interface and electrical properties of La-silicate for direct contact of high-k with silicon 
著者
和文: 角嶋邦之, 舘喜一, M.Adachi, 岡本晃一, 佐藤創志, 宋在烈, 川那子高暢, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Kuniyuki KAKUSHIMA, Kiichi Tachi, M.Adachi, Koichi Okamoto, Soshi Sato, Jaeyeol Song, Takamasa Kawanago, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 Others 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Solid-State Electronics 
巻, 号, ページ Vol. 54        pp. 715-719
出版年月 2010年6月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1016/j.sse.2010.03.005

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