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論文・著書情報


タイトル
和文:ECRスパッタ法による３次元構造上へのHfN/HfONゲートスタック構造の形成 
英文: 
著者
和文: 佐野貴洋, 大見俊一郎.  
英文: Takahiro Sano, Shun-ichiro Ohmi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:秋季第７０回応用物理学会学術講演会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 737
出版年月 2009年9月 
出版者
和文:応用物理学会 
英文: 
会議名称
和文:秋季第７０回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:富山大学 
英文: 

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