Electrical Properties of Hf/HfSiON/p-Si(100) Structure MIS capacitor by Using ECR-Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical Properties of Hf/HfSiON/p-Si(100) Structure MIS capacitor by Using ECR-Sputtering

著者

和文:	韓熙成, 佐野貴洋, 宋永旭, 大見俊一郎.
英文:	Han Hui-Seong, Takahiro Sano, Young uk Song, Shun-ichiro Ohmi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	春季第５７回応用物理学関係連合講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

p. 13-105

出版年月

2010年3月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	春季第５７回応用物理学関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	東海大学
英文: