表面活性化接合法によるSOI導波路上GaInAsP薄膜構造の形成

論文・著書情報

タイトル

和文:	表面活性化接合法によるSOI導波路上GaInAsP薄膜構造の形成
英文:	Fabrication of GaInAsP/InP Membrane Structure on SOI waveguide by Surface

著者

和文:	長部亮, 奥村忠嗣, 近藤志文, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Ryou Osabe, Tadashi Okumura, Simon Kondo, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第71回応用物理学会学術講演
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 長崎 No. 14p-G-15

出版年月

2010年9月

出版者

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会議名称

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開催地

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