III-V族薄膜光回路実現のためのSi基板上BCB貼付GaInAsP薄膜構造品質の改善

論文・著書情報

タイトル

和文:	III-V族薄膜光回路実現のためのSi基板上BCB貼付GaInAsP薄膜構造品質の改善
英文:	Improvement of the bonding quality of GaInAsP Membrane Stricture toword III-V Membrane Photonic Circuit on Si substrate with BCB Bonding

著者

和文:	前田泰奈, 渥美裕樹, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Yasuna Maeda, Yuki Atsumi, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

vol. 14 no. G p. 14

出版年月

2010年9月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	2010年秋季応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	長崎大学文教キャンパス
英文: