R&amp;D of EUV and SXR Light Sources at Tokyo Institute of Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	R&D of EUV and SXR Light Sources at Tokyo Institute of Technology

著者

和文:	堀田栄喜, 酒井雄祐, ｽﾞｷｭｼ, 石塚裕也, 滝本泰大, Huang Bin, 渡邊正人.
英文:	Eiki Hotta, Yusuke Sakai, Zhu Qiushi, Yuya Ishizuka, Yasuhiro Takimoto, Huang Bin, Masato Watanabe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2010 Academic Symposium on Optoelectronics and Microelectronics Technology and the 10th Chinese-Russian Symposium on Laser Physics and Laser Technologies

巻, 号, ページ

出版年月

2010年7月

出版者

和文:
英文:	Harbin Institute of Technology

会議名称

和文:
英文:	2010 Academic Symposium on Optoelectronics and Microelectronics Technology and the 10th Chinese-Russian Symposium on Laser Physics and Laser Technologies

開催地

和文:
英文:	Harbin, China