【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Fabrication of sub-20 nm nanostructures by combination of nano plastic forming and etching (NPFE)
著者
和文:
HASSAN RASHIDI
,
吉野 雅彦
.
英文:
Hassan Rashidi
,
Masahiko Yoshino
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
J. Micromech. Microeng.
巻, 号, ページ
Vol. 20
出版年月
2010年8月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
DOI
https://doi.org/10.1088/0960-1317/20/9/095003
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