Aluminum Doped Hydrogenated Nanocrystalline Cubic Silicon Carbide Films Deposited by VHF-PECVD for p-type Window Layer of Silicon Based Thin-Film Solar Cells

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Aluminum Doped Hydrogenated Nanocrystalline Cubic Silicon Carbide Films Deposited by VHF-PECVD for p-type Window Layer of Silicon Based Thin-Film Solar Cells

著者

和文:	浜下大輔, 宮島晋介, 山田明, 小長井誠.
英文:	Daisuke Hamashita, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2010年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	35th IEEE Photovoltaic Specialist Conference

開催地

和文:
英文:	Hawaii, 2010. June 20-25