RF可変受動素子実現に向けたAll Metal MEMS静電アクチュエータ

論文・著書情報

タイトル

和文:	RF可変受動素子実現に向けたAll Metal MEMS静電アクチュエータ
英文:	All Metal MEMS Electrostatic Actuator for RF Variable Passive Element

著者

和文:	白根篤史, 水落裕, 天川修平, 石原昇, 益一哉.
英文:	Atsushi Shirane, Yutaka Mizuochi, Shuhei Amakawa, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	応用物理学会集積化 MEMS 技術研究会主催集積化 MEMS シンポジウム 2010
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巻, 号, ページ

pp. 1-4

出版年月

2010年10月

出版者

和文:	応用物理学会
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会議名称

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開催地

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