Study on Sn-Fueled Discharge Produced Plasma (DPP) Extreme Ultraviolet (EUV) Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Study on Sn-Fueled Discharge Produced Plasma (DPP) Extreme Ultraviolet (EUV) Source

著者

和文:	ｽﾞｷｭｼ, 山田淳三郎, 岸望, 細貝知直, 渡邊正人, 沖野晃俊, 堀田栄喜.
英文:	Qiushi Zhu, Junzaburo Yamada, Nozomu Kishi, Tomonao Hosokai, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2008年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 2nd Japanese-German Student Workshop on Plasma Science and Technology

開催地

和文:
英文:	Germany