Plasma Dynamics in Laser Triggered Vacuum Arc Sn DPP EUV Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Plasma Dynamics in Laser Triggered Vacuum Arc Sn DPP EUV Source

著者

和文:	堀田栄喜, 岸望, 山田淳三郎, ｽﾞｷｭｼ, 細貝知直, 渡邊正人, 沖野晃俊.
英文:	Eiki Hotta, Nozomu Kishi, Junzaburo Yamada, Qiushi Zhu, Tomonao Hosokai, Masato Watanabe, Akitoshi Okino.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2008年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2008 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography

開催地

和文:
英文:	Lake Tahoe, CA, USA