レーザトリガ型Sn EUV放電光源の開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	レーザトリガ型Sn EUV放電光源の開発
英文:	Development of Laser Triggered Sn Discharge EUV Light Source

著者

和文:	山田淳三郎, ｽﾞｷｭｼ, 岸望, 渡邊正人, MASNAVI MAJID, 沖野晃俊, 河村徹, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	Junzaburo Yamada, Qiushi Zhu, Nozomu Kishi, Masato Watanabe, Majid Masnavi, Akitoshi Okino, Tohru Kawamura, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会パルスパワー・放電合同研究会資料
英文:	The Papers of Joint Technical Meeting on Pulsed Power Technology and Electrical Discharges

巻, 号, ページ

PPT-08-22/ED-08-51 pp. 37-42

出版年月

2008年5月

出版者

和文:	電気学会
英文:	IEE Japan

会議名称

和文:	パルスパワー・放電合同研究会
英文:	Joint Technical Meeting on Pulsed Power Technology and Electrical Discharges

開催地

和文:	東大阪
英文:	Higashi-Osaka