Influence of Mask-Substrate Adhesion on Mask Patterning in Nano Plastic Forming and Etching (NPFE) Process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Influence of Mask-Substrate Adhesion on Mask Patterning in Nano Plastic Forming and Etching (NPFE) Process

著者

和文:	HASSAN RASHIDI, 吉野雅彦.
英文:	Hassan Rashidi, Masahiko Yoshino.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. The 14th International Conference on Mechatronics Technology (ICMT2010)

巻, 号, ページ

pp. 226-231

出版年月

2010年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: