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論文・著書情報


タイトル
和文:高電圧パルス列駆動大気圧過渡グローマイクロプラズマを用いた無定形炭素膜の作製 
英文: 
著者
和文: 井深真治, 五十嵐晃一, 菊地淳, 原田昂一, 石井彰三.  
英文: SHINJI IBUKA, Koichi Igarashi, Jun Kikuchi, Koichi Harada, SHOZO ISHII.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電気学会論文誌Ａ 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 130    No. 6    pp. 543-548
出版年月 2010年6月 
出版者
和文:電気学会 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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